UTCB |

Tipul înregistrării:	Text tipărit: analitic (parte componentă)
Autor:	Fan, Y.H.
Autor alternativ:	Qiu, T.
Responsabilitate:	Y. H. Fan, T. Qiu
Note:	Transfer tranzitoriu de căldură în reactoare termice cu funcţionare ciclică pentru prelucrarea plăcilor de silicon
Limba:	Engleză
În:	INTERNATIONAL Journal of Heat and Mass transfer. Elmsford. An june 1998,V. 41/11,p. 1549-1557
Subiect:	industria de semiconductori
Subiect:	prelucrarea plăcilor de silicon
Subiect:	reactor termic
Subiect:	transfer de căldură
Note conţinut (cuprins):	Transfer tranzitoriu de căldură în reactoare termice cu funcţionare ciclică pentru prelucrarea plăcilor de silicon

LDR:00775naa# 2200121## 001 167798
009 ubfixit050.037 Transient Heat Transfer in Batch Thermal Reactors for Silicon Wafer Processing\\2947\
100 $a 20230119u########m##u1rumy50######ba
101 $a eng
200 $a Transient Heat Transfer in Batch Thermal Reactors for Silicon Wafer Processing $f Y. H. Fan, T. Qiu
300 $a Transfer tranzitoriu de căldură în reactoare termice cu funcţionare ciclică pentru prelucrarea plăcilor de silicon
327 $a Transfer tranzitoriu de căldură în reactoare termice cu funcţionare ciclică pentru prelucrarea plăcilor de silicon
463 $0 143927 $b revistă $c Elmsford $n Pergamon Press $t INTERNATIONAL Journal of Heat and Mass transfer $v An june 1998,V. 41/11,p. 1549-1557 $x 0017-9310 $z US
517 $a Transfer tranzitoriu de caldura in reactoare termice cu functionare ciclica pentru prelucrarea placilor de silicon
606 $2 UTCB $3 93194 $7 ba0yba0a $8 rumrum $a industria de semiconductori
606 $2 UTCB $3 101298 $7 ba0yba0a $8 rumrum $a prelucrarea plăcilor de silicon
606 $2 UTCB $3 103291 $7 ba0yba0a $8 rumrum $a reactor termic
606 $2 UTCB $3 109414 $7 ba0yba0a $8 rumrum $a transfer de căldură
700 $3 23086 $a Fan $b Y.H.
701 $3 59238 $a Qiu $b T.
801 0 $a RO $b UTCB $c 20230118 $2 unimarc

Evaluări

Exportă

Filiala de unde se ridică