UTCB |

Tipul înregistrării:	Text tipărit: analitic (parte componentă)
Autor:	Kim, H.W.
Autor alternativ:	Kang, J.
Responsabilitate:	H.W. Kim, J. Kang
Note:	O nouă abordare a decapării electrodului de platină pentru aplicaţii DRAM
Limba:	Engleză
În:	IRANIAN Journal of Science and Technology. An 2004, 28/B2, p.265-268
Subiect:	decapare
Subiect:	mască T
Subiect:	microscopie de scanare electronică
Subiect:	microscopie de transmitere a electronului
Note conţinut (cuprins):	O nouă abordare a decapării electrodului de platină pentru aplicaţii DRAM

LDR:00558naa# 2200109## 001 168129
009 ubfixit050.037 \A \\Novel Approach to the Platinum Electrode Etching for Dram Application
100 $a 20230119u########m##u1rumy50######ba
101 $a eng
200 $a ‰NSB‰A ‰NSE‰Novel Approach to the Platinum Electrode Etching for Dram Application $f H.W. Kim, J. Kang
300 $a O nouă abordare a decapării electrodului de platină pentru aplicaţii DRAM
327 $a O nouă abordare a decapării electrodului de platină pentru aplicaţii DRAM
463 $0 143951 $t IRANIAN Journal of Science and Technology $v An 2004, 28/B2, p.265-268
606 $2 UTCB $3 87768 $7 ba0yba0a $8 rumrum $a decapare
606 $2 UTCB $3 95968 $7 ba0yba0a $8 rumrum $a mască T
606 $2 UTCB $3 97503 $7 ba0yba0a $8 rumrum $a microscopie de scanare electronică
606 $2 UTCB $3 97505 $7 ba0yba0a $8 rumrum $a microscopie de transmitere a electronului
700 $3 37331 $a Kim $b H.W.
701 $3 36286 $a Kang $b J.
801 0 $a RO $b UTCB $c 20230118 $2 unimarc

Evaluări

Exportă

Filiala de unde se ridică